盛美上海湿法设备3000腔交付
半导体设备 半导体技术
2022年11月16日，盛美上海宣布湿法设备3000腔交付，其半导体湿法设备2000腔于去年10月18日交付。
目前中国大陆能提供半导体清洗设备的企业，主要包括盛美上海、北方华创、芯源微等。作为新兴的半导体设备企业，盛美上海主要产品为集成电路领域的单片清洗设备，包括单片SAPS兆声波清洗设备、单片TEBO兆声波清洗设备、单片背面清洗设备、单片刷洗设备、槽式清洗设备和单片槽式组合清洗设备等。
盛美上海总经理王坚表示，公司成立以来，从聚焦单片兆声波清洗设备开始，根据市场需求不断扩展产品业务，到现在形成了集成电路专用清洗系列设备（包括单片、槽式、单片槽式组合清洗、背面清洗、边缘刻蚀清洗、刷洗等）、前道铜互连及先进封装电镀设备、先进封装湿法设备和立式炉管设备等产品。其中，清洗设备以上工艺应用覆盖率已超过80%，未来有望超过90%，全部产品覆盖市场空间达到近85亿美元。
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