赛微电子:控股子公司MEMS气体传感芯片通过验证并启动试产

传感学人 20221201

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传感器 MEMS 赛微电子

11月30日,赛微电子发布公告称,公司控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(以下简称“赛莱克斯北京”)代工制造的某款MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写,即微电子机械系统,简称为微机电系统)气体传感芯片通过了客户验证,该客户已同步签署试产订单,赛莱克斯北京启动首批MEMS气体传感芯片8英寸晶圆的小批量试生产。

据悉,MEMS气体传感芯片基于MEMS工艺制造,具备功耗低、可靠性高的特点,可用于制备各类MEMS气体传感器,可广泛应用于家用环境监测、室内新风系统、智能家电产品、车内环境感知等领域。

近年来,子公司赛莱克斯北京持续加大研发投入,自主积累基础工艺,目前已在多领域实现MEMS制造技术的积累和突破。但是赛莱克斯北京仍处于运营初期,产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程,产能的继续扩充以及产量目标的实现尚需一定时间。

另外值得一提的是,近日赛微电子与武汉敏声合作的流水线,目前通线设备已搬入完成,武汉敏声正在加紧设备调试及各类产品导入,预计年底前完成通线,2023年第二季度实现规模化量产。

公开资料显示,赛微电子成立于2008年5月,于2015年在创业板上市,2016年公司取得瑞典MEMS代工领域龙头Silex控股权,同年在北京筹划建设Fab3 8寸MEMS量产工厂。赛微电子2021年营收达9.28亿元,并在2022年前三季度实现营收5.55亿元。目前,其主营业务分为MEMS 开发、MEMS 代工制造、GaN 外延材料及功率器件,该公司Silex 拥有164项国内/国际MEMS核心专利,同时具备多项目并行开发的能力,满足客户多样化多批次需求。

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