赛微电子:控股子公司MEMS气体传感芯片通过验证并启动试产

感知世界 20221203

  • MEMS传感器
  • 气体传感器
  • 室内环境监测

赛微电子发布公告称,2022年11月30日,北京赛微电子股份有限公司(以下简称“公司”)控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(简称“赛莱克斯北京”)代工制造的某款 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,简称为微机电系统)气体传感芯片通过了客户验证,该客户已同步签署试产订单,赛莱克斯北京启动首批 MEMS 气体传感芯片 8 英寸晶圆的小批量试生产。

MEMS 气体传感芯片基于 MEMS 工艺制造,具备功耗低、可靠性高的特点,可用于制备各类 MEMS 气体传感器,可广泛应用于家用环境监测、室内新风系统、智能家电产品、车内环境感知等领域。

近年来,赛莱克斯北京持续加大研发投入,自主积累基础工艺,积极探索各类 MEMS 器件的生产诀窍,努力为全球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户,尤其是中国本土客户提供优质的 MEMS 工艺开发及晶圆制造服务,积极推动公司在本土形成和提升自主可控的 MEMS 生产制造能力,加速国产替代。

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