ACD系列研发升级 | 为光学检测类设备赋能

每天懂一传感器 20230205

  • 高精度运动控制
  • 光学检测
近年来,在半导体、光伏行业中,力矩电机得到了越来越广泛的推广和应用。在这些应用中,大部分运动要求都是点到点,即运动过程并非重点关注项,而是着重关注到位精度,因此对电机的重复精度提出了高要求。

  应用案例

  力矩电机在光学检测中的应用

  行业背景

  近年来,在半导体、光伏行业中,力矩电机得到了越来越广泛的推广和应用。在这些应用中,大部分运动要求都是点到点,即运动过程并非重点关注项,而是着重关注到位精度,因此对电机的重复精度提出了高要求。

  此类应用普遍都要求电机的重复精度在±1~±2角秒之间(1角秒=1/3600度),较少关注电机转动时的速度波动情况,对于客户来说只要到位精度准确,便基本不影响应用。

  客户需求

  然而,有些特殊的应用场景却对电机提出了不一样的要求。

  椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。通常使用双电机运行,对位置轻微波动十分敏感,因此它对电机的速度波动要求极高。

  当电机运行在1000rpm左右时,电机的速度波动率需控制在千分之一至万分之一以内。此外,该应用对电机的轴跳精度要求也较高,通常要求电机的轴跳在5um以内。

  产品推介

  力矩电机

  雅科贝思力矩电机——ACD系列电机是无铁芯无刷电机,不会产生任何齿槽扭矩,从而可以实现平滑运动以及较低的速度脉动。独特的绕组设计使其拥有高扭矩密度。

  ACD系列

  电机采用无铁芯设计,无齿槽扭矩,低速度波动

  集成高精密轴承,标准品轴向径向端跳可低至10μm(经过特殊定制可达5μm)

  内置高精度光栅编码器,电机重复精度可达±3arcsec

  中孔设计,12mm~25mm,方便客户走线以及布局光学反馈设备

  定制化解决方案

  ACD系列作为雅科贝思标准品电机应用于各行各业之中,但在端跳、速度波动等一些参数方面暂时无法满足类似椭偏仪这样的设备。

  因此,在ACD系列的基础上,雅科贝思经过数月的持续研发升级,及多轮产品迭代,最终开发出能完美匹配此类对速度波动有极高要求的产品。

  无论是正装还是侧装,其速度波动率均可实现0.05%(实测基于1200rpm,搭配合适驱动)。从实测数据看,新研发产品已达到该应用领域的一流设计水准。

  同时,电机的轴跳可以轻松实现5μm以内精度。

新研发产品速度波动实测结果

新研发产品轴跳测试实测结果

  更多应用

  除椭偏仪外,其他多种需要光学反馈的高精密、低速度波动应用均可使用该电机,例如所有与光学检测相关的应用、恒速配药行业等。

  产品一经推出,便吸引了众多客户的兴趣。经过多方严格测试,越来越多的行业头部企业对该产品给予了肯定,并与雅科贝思进行了深度合作。

  雅科贝思能依据不同客户的不同需求,定制专业的有针对性的全套解决方案,研发出多款定制型号。

  如需具体参数,请致电雅科贝思。

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