【社群智汇】陶瓷压力传感器有多讲究工艺？
【编者按】：由传感器专家网创建的微信社群——【传感器专家网社群】，汇聚了大批传感器业内人士，并每天就各种传感器话题进行热烈讨论，迸射出闪耀的知识火花。于是，我们把社群里极具价值的精彩对话整理成文，推出了专题栏目“社群智汇”。
本次话题是“陶瓷压力传感器”。压力传感器技术，比拼的不是多么先进的电路设计，更多的是工艺手段的深究打磨求索。
@传感器专家网-杨军：
过去的一周多我们的话题都没有离开惯性导航，也该换个话题了。
聊国内的传感器市场，绕不开的话题一定是压力变送器，而作为压力变送器的核心，即压力传感器芯体则是该话题的重中之重，上周有群友提出，希望聊一聊“压阻式陶瓷压力传感器”的话题，那我们今天就这个陶瓷压力传感器的话题再展开，希望大家一起来探讨陶瓷压力传感器的那点事儿，包括国内水平，市场状况，发展趋势，该细分产品领域的市场发展机会等等。
目前【传感器智汇圈】社群已经快速成长至近4000人，群里从事压力传感器的朋友行家很多，我负责抛砖引玉，欢迎各位发表自己的高见。
@传感器专家网-杨军：
陶瓷压力传感器，顾名思义，是利用温度稳定性和时间稳定性都更好、且能够抗腐蚀的陶瓷作为材料来制作的压力传感器，可以实现更宽的工作温度范围（如-40～135 ℃) , 同时，保障更好的精度和电气绝缘性。
陶瓷压力传感器不用液体（如硅油）介质来传递压力，利用压力膜片直接感受压力，没有密封泄露的问题，厚膜电阻构成的惠斯通电桥印刷在陶瓷膜片的背面，利用陶瓷膜片良好的弹性，压力直接作用在高纯度的陶瓷膜片前表面，产生微形变，印刷在背面的惠斯通电桥压敏电阻产生压敏效应，输出与压力成正比的线性电压信号，从而感知压力变化。
@张***:
陶瓷压力传感器的敏感元件部分也是陶瓷材料么？还是只是用陶瓷做封装？
@后***面：
和扩散硅一样的道理，单晶硅和陶瓷分别做电路载体，所不同的是材料和工艺不一样。
@传感器专家网-杨军：
说得对。
抓住要点了，压力传感器的性能与电路载体的性能密切相关。
@张***:
学习了，谢谢。
@传感器专家网-杨军：
压力传感器技术，并不是多么先进的电路设计的比拼，更多的是工艺手段的深究打磨求索，是工匠精神的最佳体现，包括各种材料性能的深入理解和应用，每一个工艺细节的突破，都可能成就一家伟大的公司。比如，仅仅将陶瓷膜片与衬底粘合的玻璃微熔技术，就成就了TE的前身精量电子这家传感器公司。
@周***定：
金属溅射薄膜压力传感器也是原理很简单，但要做好真不容易！
@杨***:
扩散硅、单晶硅、陶瓷哪个精度高？
@传感器专家网-杨军：
精度跟载体材料没有直接关系。
@莫***:
其实陶瓷压力传感器对工艺设备要求挺高的，从高精度厚膜丝印机、激光调阻机国内都没成熟的。
陶瓷压力传感器成败在于工艺细节。
@王***c:
材料成型也很讲究。
@莫***:
激光调阻设备进口的在200万左右一台，丝印机如DEK的也要几十万以上。
@莫***:
而且如果不能实现自动化还会出现不良率不稳的情况。
@传感器专家网-杨军：
陶瓷压力传感器具有便于批量化生产的特性，其主要特点是敏感坚固的陶瓷感应膜片、背面印刷的惠斯通电桥压敏电阻便于进行零点误差、满量程误差等指标参数的激光修正标定，对工艺设备没有太高要求，抗腐蚀、抗磨损，抗冲击抗震动，拥有很宽的工作温度范围，精度及稳定性能卓越，便于小尺寸封装。鉴于这些优点和高性价比，许多用户开始用陶瓷压力传感器来替代传统的扩散硅压力传感器。
在对高温、腐蚀、稳定性和可靠性要求较高的工业过程控制，石油化工、液压阀门、医疗器械、液压与气动、传动控制等众多领域，陶瓷压力传感器有着广泛的应用发展空间。
@O***魏：
陶瓷是一种很好的材料，在很多高端器件里边都有用到。
@叶***琛：
传统的扩散硅压力传感器，这个是怎样的？
@传感器专家网-杨军：
扩散规压力传感器的基体是单晶硅，采用离子注入的工艺，做成惠斯通电桥硅敏感单元，做成压力变送器时，被测压力通过不锈钢隔离膜作用于敏感元件，其后的信号处理与陶瓷压力传感器是类似的。优点是输出灵敏度高、过载能力较强，缺点是温度特性较差，性能要求高时需要做温度补偿，而且封装工艺相对比较复杂。
在对高温、腐蚀、稳定性和可靠性要求较高的工业过程控制，石油化工、液压阀门、医疗器械、液压与气动、传动控制等众多领域，陶瓷压力传感器有着越来越广泛的应用发展空间。
@o***n:
杨总好！请教一下，关于冷媒压力传感器，你认为哪一种比较符合这个应用。
@传感器专家网-杨军：
@o***n 陶瓷压力传感器，本质是惠斯通电桥压电效应，理论上正压负压都可以测量。但是陶瓷压力传感器是以陶瓷膜片作为微形变载体，对小量程压力的测量难度较大，一般多用于100kPa 以上的压力量程，而负压多数是小量程，所以很少看到用陶瓷压力传感器来测负压的。
@小***:
问一下专家，陶瓷压力传感器的精度是多少，耐温及压力冲击最高多少，我是流量计上用的。
@传感器专家网-杨军：
陶瓷压力传感器的精度一般在千分之二至千分之五左右，耐温范围通常在-40~135 ℃级别，抗腐蚀抗磨损的能力较强，但抗冲击的能力是相对较差的。
@S***叶：
比如，安费诺 NPC-1210 系列，精度±0.5%FSO,工作温度-40~125℃。
@木***:
谢谢杨总的知识分享 。
我是做补充一点：陶瓷压感目前只能做小量程的压力传送，大量程的还做不到。
如果您对该话题有更多的观点，欢迎在下方留言评论~
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