氦质谱检漏仪真空镀膜配气面板检漏

hakutoSH 20230518

上海伯东某客户生产超高纯度特种气体不锈钢减压阀门, 接头, 管件, 这些配件主要用于集成在真空镀膜配气面板, 实现工艺气体的传输. 为了防止气体外泄, 除了阀门, 接头, 管件需要单独检漏外, 整个配气面板也需要测试整体漏率,

氦质谱检漏仪 ASM 340 真空镀膜配气面板检漏

上海伯东某客户生产超高纯度特种气体不锈钢减压阀门, 接头, 管件, 这些配件主要用于集成在真空镀膜配气面板, 实现工艺气体的传输. 为了防止气体外泄, 除了阀门, 接头, 管件需要单独检漏外, 整个配气面板也需要测试整体漏率, 使用上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340, 真空模式下, 漏率设置为 5.5x10-10 Pa m3/s. 组装后的真空镀膜配气面板广泛应用于 CVD 设备.

真空镀膜配气面板检漏

1. 不锈钢减压阀门, 接头, 管件等单独进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

传感专家


2. 组装后的真空镀膜配气面板, 整体再次进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

传感专家


上海伯东销售维修氦质谱检漏仪 ASM 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.

传感专家

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪, 请参考以下联络方式

上海伯东: 叶小姐                                                  

M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      

qq: 2821409400


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氦质谱检漏仪,过程质谱分析仪,残余气体分析仪,真空规,真空泵等

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