壹月科技半导体高纯电子工艺设备生产制造基地项目奠基

感知世界 20230723

  • 半导体电子化学品
  • 特气供应系统
  • 等离子尾气处理设备

据“合肥经开发布”公众号消息，近日，安徽壹月科技有限公司半导体高纯电子工艺设备生产制造基地项目奠基仪式举行。

据悉，该项目位于合肥新桥科技创新示范区，占地约20亩，总投资约3.2亿元，主要从事半导体电子级化学品、特气供应系统、半导体等离子尾气处理设备及半导体核心器件的研发、制造工作。

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