台积电供应商极光先进激光公司发生氟气泄漏 300多人撤离

物联网智库 20230815

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  • 工业气体泄漏监测
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据科技新报报道，台积电供应商之一的极光先进激光股份有限公司，8月15日上午11时传出氟气钢瓶泄露事件。氟气是3级管制有毒气体，整个厂区立刻疏散，300多人撤离。

报道称，消防局收到消息后派人员处理，确认极光先进激光公司发生总量6540克的钢瓶氟气外泄事件，由于氟气有毒，消防局立即协助厂区疏散清空，并进行止阀冷却。

消防局表示，进一步处理之后，气体泄露事件已经解决。在厂内泄露的气体侦测值已降为0，并且消防人员目前确认阀体、钢瓶没有其他泄漏状况，公司员工也没有人员受困或伤亡的情况。

至于钢瓶氟气泄露原因，需进一步调查。

公开资料显示，极光先进提供作为半导体曝光设备用的激光，为世界上生产曝光用Excimer激光制造大厂之一，产品覆盖亚洲市场如中国、日本、韩国等大部分的半导体制造厂，在欧美市场使用率较高。


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