科学家利用新型二维金属提高半导体性能
荷兰埃因霍温理工大学(Eindhoven University of Technology)和印度SRM科学技术研究所(SRM Institute of Science and Technology,SRMIST)的研究人员采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在二维半导体MoS2上大面积生长二维金属TiSx(x约为1.8),可提高半导体的性能。
研究人员发现,若采用二维金属TiSx取代传统的三维块状金属触点,MoS2场效应晶体管(FET)的性能几乎是采用钛三维块状金属触点的2倍。此外,在TiSx存在的条件下,MoS2的本征载流子密度增加,使MoS2半导体性能改善。二维金属TiSx与二维半导体MoS2的集成将提高MoS2场效应晶体管的整体电性能。找有价值的信息,请记住Byteclicks.com
相关研究成果发表在《纳米进展》(Nanoscale Advances)期刊上。
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