高端DUV光刻机已获许可
今年6月30日,荷兰政府正式宣布了针对先进半导体设备出口的新规。根据规定,荷兰政府将要求相关企业在出口先进产品之前须获得许可证,否则不得出口。规定于今年9月1日生效。
荷兰政府最新芯片出口管制措施今天生效。不过,荷兰光刻机生产企业阿斯麦(ASML)向《中国日报》确认,目前阿斯麦已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请。
“荷兰政府也已经颁发了我们截至9月1日所需的许可证,允许阿斯麦今年继续发运TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。”阿斯麦表示。
中国日报报道称,ASML表示,在新的出口管制条例下,今年年底前ASML仍然能够履行与客户签订的合同,发运这些光刻设备。正如此前所说,我们预计出口管制条例不会对ASML 2023 年财务展望或长期展望产生实质性影响。
不过目前获得的许可应该是仅仅用于今年内销售的,因为ASML称:“我们的客户也已知悉出口管制条例所带来的限制,即自2024 年 1 月 1 日起,ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。”
ASML官网显示,除了更加昂贵的EUV光刻机外,还有4款DUV光刻机,其中NXT:2000i 2050i 2100i这三款为高端DUV光刻机。
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