探针台的使用方法

13601091939 20231018

  • 探针台

1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。

2.运用卡盘X轴/Y轴控制旋钮挪动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调理明晰,带测点在显微镜视场中心。

4.待测点地位确认好后,再调理探针座的地位,将探针台探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的地位旁边,再运用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,渐渐的将探针移至被测点,此时举措要小心且迟缓,以防举措过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针行进少许,再运用Z轴旋钮停止下针,最初则运用X轴旋钮左右滑动,察看能否有少许划痕,证明能否曾经接触。

5.确保针尖和被测点接触良好后,则可以经过衔接的测试设备开端测试。

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