半导体先进制程电子特气生产基地项目落地合肥肥东

意匠 20240624

  • 半导体材料
  • 电子特气

据“快乐肥东”官方微信报道,近日,肥东县政府与上海启源气体正式签署了半导体先进工艺电子特气国产化项目投资合作协议。

据悉,依托韩国技术资源和支持,上海启源气体计划在合肥市肥东县合肥循环经济示范园建设国内高标准半导体先进工艺电子特种气体生产基地。该项目占地约70亩。建成生产后,预计年收入不低于10亿元,年税收不低于6000万元。

本项目的实施将加快国际半导体先进工艺电子特种气体材料的定位,部分产品填补国内空白,大大提高国内半导体先进工艺所需电子特种气体的本地供应能力。

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