半导体生产化学液集中供应系统液位及漏液检测

讯巴赫 20240823

  • 电容式液位传感器
  • 漏液传感器
  • PTFE外壳传感器


在半导体产业化的生产中,化学液供应系统主要以中央供应系统为主,对于用量较少之化学液则采取人工供应方式,中央化学液供应系统缩写为CDS(Center Chemical Dispense System)或者简写为BCD(Bulk Chemical Distribution),它是为生产线24h不间断化学液的系统。一般使用CDS系统的化学液都有需求量大,危险性高的特点。讯巴赫为此提供了漏液检测和液位检测传感器解决方案:

1、漏液检测:

泄露相关安全保护极为重要,其中包括检测化学液泄露的传感器。这些传感器有耐腐蚀性,能够保证长时间的检测寿命的特点。讯巴赫schönbuch Leak-SC系列漏液传感器,专为保护设备及环境空间出现漏水和漏液事故而设计,可以帮助客户在早期就发现液体泄露事故,避免损失。可用于水、纯水、油、化学液体等各种各样的导电或非导电性液体。


讯巴赫漏液传感器特点:

  • 产品灵敏度高、响应速度快、可靠性高;
  • 安装方便、使用简单;
  • PTFE材质外壳,耐化学腐蚀;
  • PNP,NPN,常开,常闭型号可选;


2、液位检测:

讯巴赫电容式传感器凭借着出色的检测能力,稳定性,以及优异的抗挂料能力用于检测管道液位。


讯巴赫电容式传感器特点:

  • 可提供多种外形尺寸,M8,M12,M18,M30等;
  • 抗挂料能力强;
  • 具有PTFE外壳,可抗强酸强碱;
  • 对导电性液体也表现优异;
  • 有耐高温、耐低温产品可选;


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