讯巴赫 晶圆槽式清洗设备传感器解决方案

讯巴赫 20240920



晶圆制造需要在无尘室中进行，制造过程中任何沾污现象都将影响芯片的正常功能。如果不及时清理上面的杂质，就可能导致后续工艺失败，电学失效甚至芯片报废。槽式清洗机是将晶圆放在花篮中，再利用机械手依次将其通过不同的化学试剂槽进行清洗，槽内装有酸碱等化学液，槽式清洗机主要由耐腐蚀机架、
酸槽、 水槽、 干燥槽、 控制单元、 排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。讯巴赫为晶圆槽式清洗设备提供如下解决方案：

1、TANK罐供液液位检测：电容式液位传感器，用于Tank供液罐的液位检测，当液体注入时，从侧面透明旁通管道确保液体的位置；

2、化学液槽液位检测：光学式液位传感器，全特氟龙包裹，用于各个水槽和化学液槽的液位检测；

3、供液管的流量检测：用于Tank罐供液管道的流量和温度检测，讯巴赫流量传感器提供流量和温度两路输出；

4、设备漏液检测：用于检测清洗槽外的漏液检测（产线的漏液检测、CDS系统的漏液检测，干燥之后等待区的漏液检测）；

5、晶圆载具cassette到位检测：讯巴赫微型对射激光传感器，可穿透清洗槽玻璃，外壳PTFE涂层；

6、储液罐液位连续量检测：称重传感器结合讯巴赫高精度变送器，可在补液和供液过程中动态检测罐内液体重量。









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