IC芯片制程中的液体监控工具： CS外夹式超声波流量传感器
IC芯片赛道的竞争与发展日趋白热化，似乎已经超越了摩尔定律，头部企业对于MOSFET裸片缩小的追求永无止境，台积电、英特尔、三星等企业甚至在近几年计划使用2nm级别的工艺节点进行生产。在这样的市场热潮中，对于每个生产环节的精准把控能力已经成为芯片制造企业运营的必备条件。由于诸多芯片制造企业不可避免地需要使用超纯水、酸碱液等液态流体进行清洗、刻蚀等工序，精确可靠的液体监测成为了许多芯片生产制造FAB的亟迫需求。
CS流量传感器
适用于塑料硬管，如PFA, Teflon管等，精度达±2%
CS外夹式超声波流量传感器，尤其适合IC芯片制造行业。传感器采用外夹式设计，可直接夹在管路上进行测量，避免污染及泄露的可能。传感器体积小巧，无需外置的电路系统即可进行测量和输出，可轻松整合到既有设备中。
卓越的测量表现
精确可靠，精度达±2%或更优
实时监测流量，并可显示累计流量。
提供Flow Viewer软件，界面简单易懂，零基础客户亦可轻松进行修正和校准。
即装即用
安装便捷，无需对现有管路进行切割，避免中断或暂停产线。
体积小巧，标准CS传感器最大型号CS-100N-B, 适用管外径为1英寸（25.4mm），传感器尺寸仅为50mm*75mm*69mm。
尺寸多样，标准型号传感器适合外径1/4英寸到１英寸(6.4mm-25.4mm)不等的硬管。
具有4-20mA电流， 0-20KHz频率和RS485标准输出模式，便于整合入PLC系统或泵系统中。
适合PFA, PTFE, Teflon, PP, PVDF, Nylon 等硬质管材
洁净保障
外夹式安装，杜绝潜在的泄露点。
传感器不与液体直接接触，不会产生堵塞或碎屑，最大限度保障管内液体的清洁度与纯净度。
带弹性衬垫，提升耦合效果。
无需油脂等耦合介质，夹上管路即可开始精确测量，避免对Fab环境造成污染。
CS流量传感器在IC芯片制程中的典型应用：
验证泵和阀门性能
测量超纯水流量和体积
计量电路板冲洗系统
监测氢氟酸系统流速
计算废水排放量
管控沉淀剂，还原剂和替代剂流量
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上海迅音科技
迅音科技成立于2018年，坐落于上海联东U谷·闵行国际企业港，是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业，致力于为医疗器械、生物制药、新能源及一般工业设备（如热循环系统、冷却系统及其他流体系统）中的液体传输管路提供准确、稳定、可靠的流量监测解决方案，提升小管路流体测控系统的自动化、信息化和智能化水平。
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