[应用案例]SDS研磨液供液系统液位检测 屏蔽泡沫
研磨液供液系统SDS(Slurry Delivery System)是用来为CMP设备供给研磨液的。研磨液在SDS和水或双氧水等按一定比例混配好之后，然后通过管路再输送到CMP机台研磨单元的slurry arm 供研磨过程中使用。因此，SDS能够提供流量稳定不间断的研磨液，精准的配比，并且在输送管路中没有结晶，对CMP工艺非常重要。
客户痛点：研磨液在配比和使用过程会产生泡沫，普通的电容传感器在管道上检测液位的时候会对泡沫产生误信号。
解决方案：讯巴赫智能电容传感器SCBT 3045,采用电容调频技术和多模态补偿算法，有效屏蔽泡沫，稳定检测；
产品特点：
电容调频技术和多模态补偿算法，可靠检测多种介质，抗挂料能力极强；
PNP/NPN 常开/常闭可设置；
Teach in模式，可以自动识别物料，有效屏蔽泡沫；
公司介绍：
讯巴赫 schönbuch 源于德国巴伐利亚，Since 1975；
整合全球智能传感器及系统部件的生态链信息；
可以根据用户需求，提供适合多种生产环境下的解决方案。
不断新产品的研发与导入；
服务于：锂电、光伏、半导体、精密仪器、生物医药、冶金、汽车、精密机床、纺织、石化、轻工等领域；
Schönbuch Industrial
Email:
sales@schonbuch.cn
Web：
www.schonbuch.cn
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讯巴赫
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