[应用案例]SDS研磨液供液系统液位检测 屏蔽泡沫
研磨液供液系统SDS(Slurry Delivery System)是用来为CMP设备供给研磨液的。研磨液在SDS和水或双氧水等按一定比例混配好之后,然后通过管路再输送到CMP机台研磨单元的slurry arm 供研磨过程中使用。因此,SDS能够提供流量稳定不间断的研磨液,精准的配比,并且在输送管路中没有结晶,对CMP工艺非常重要。
客户痛点:研磨液在配比和使用过程会产生泡沫,普通的电容传感器在管道上检测液位的时候会对泡沫产生误信号。
解决方案:讯巴赫智能电容传感器SCBT 3045,采用电容调频技术和多模态补偿算法,有效屏蔽泡沫,稳定检测;
产品特点:
电容调频技术和多模态补偿算法,可靠检测多种介质,抗挂料能力极强;
PNP/NPN 常开/常闭可设置;
Teach in模式,可以自动识别物料,有效屏蔽泡沫;
公司介绍:
讯巴赫 schönbuch 源于德国巴伐利亚,Since 1975;
整合全球智能传感器及系统部件的生态链信息;
可以根据用户需求,提供适合多种生产环境下的解决方案。
不断新产品的研发与导入;
服务于:锂电、光伏、半导体、精密仪器、生物医药、冶金、汽车、精密机床、纺织、石化、轻工等领域;
Schönbuch Industrial
Email:
sales@schonbuch.cn
Web:
www.schonbuch.cn
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讯巴赫
讯巴赫传感器
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