智感万物 创领未来 | 2025 MEMS与传感器产业创新领航大会圆满落幕

恩硕科技-李总 20250505


2025年4月28日,由孝感高新技术产业开发区、湖北大学、武汉产业创新发展研究院联合主办,高端芯片产业创新发展联盟、武创芯研科技(武汉)有限公司承办的MEMS与传感器产业创新领航大会在湖北孝感开幕。

大会以“智感万物 创领未来”为主题,中国科学院院士、武汉大学工业科学研究院执行院长刘胜,湖北大学副校长刘志洪,孝感市委常委、秘书长帅逊,湖北省经济和信息化厅电子信息产业处处长关建新,武汉产业创新发展研究院院长助理刘维华等领导出席,来自学术界、产业界的300余位代表共同探讨MEMS与传感器领域的技术突破与产业生态构建。

开幕聚焦:政企学研共筑生态高地

大会开幕式上,孝感市委常委、秘书长帅逊发表致辞,强调孝感正以传感器为支点撬动万亿级智能感知产业,通过“核心技术自主化、生态全球化、城市能级跃迁化”三大路径,打造中国传感器产业标杆。湖北大学副校长刘志洪指出,学校将通过微电子学科交叉培养破解“卡脖子”难题,与孝感的产业需求深度联动。会上,孝感高新区宣布设立10亿元传感器产业发展基金,并联合高端芯片产业创新发展联盟揭牌“先进传感器联合创新基地”,为科技成果转化注入强推力。


技术风向:虚拟制造与国产突围

在主旨报告环节,刘胜院士系统解析了传感器虚拟制造技术。针对高端MEMS工艺复杂、封测成本高等痛点,他提出通过建模仿真优化晶圆级封装工艺,使产品研发周期缩短40%,封装应力控制精度提升至0.1MPa。这一思路与全球知名仿真软件Coventor的技术路径不谋而合——该企业在展区展示了虚拟制造解决方案,其多物理场耦合仿真平台可精准预测刻蚀偏差对MEMS陀螺仪性能的影响,为工艺优化提供数字孪生支持。


无锡物联网创新中心总经理陈大鹏则披露了“芯工坊”平台进展:整合EDA设计、晶圆代工等全链条资源,已实现8英寸MEMS晶圆量产良率85%,推动国产化率从不足5%提升至20%。赛微电子首席科学家陆原分享了全球化布局战略,其北京工厂的晶圆级封测能力达到每月5万片,车规级压力传感器良率突破99%。

产业攻坚:从光刻机到车规芯片

产业论坛上,稳顶聚芯创始人祁春超宣布,国产100nm分辨率光刻机已交付5台,重点服务MEMS传感器制造;敏声新技术董事长孙成亮教授展示了8英寸BAW滤波器产线,打破海外IDM厂商垄断,5G滤波器插损降至1.2dB。明皜传感副总经理郭致良预测,2025年车用MEMS传感器市场规模将超120亿元,其自主研发的胎压监测芯片已通过AEC-Q100认证,精度达±0.5kPa。


技术突破:数字孪生重构制造模式

技术论坛亮点纷呈:

  • 北方华创发布深硅刻蚀新方案,12英寸刻蚀机均匀性达±3%,助力三维MEMS结构量产;
  • 武创芯研总经理张适博士提出压力传感器数字孪生产线模型,通过虚实映射将调试时间从30天压缩至72小时;
  • 华中科技大学王卿团队突破激光局部焊接技术,实现MEMS器件气密封装漏率<1×10⁻⁸ Pa·m³/s,达到航天级标准。

生态联动:供需对接激发创新动能

在智能传感与半导体产业链供需对接会上,20余家领军企业现场发布需求:

  • 华鑫微纳寻求8英寸MEMS代工伙伴,要求深硅刻蚀深宽比>20:1;
  • 天问机器人提出柔性触觉传感器定制需求,需在5mm×5mm面积集成100个压力传感单元;
  • 格蓝若发布高精度MEMS陀螺仪采购招标,零偏稳定性要求<0.1°/h。

展区聚焦:Coventor赋能MEMS虚拟制造

在展区核心位置,全球MEMS仿真技术领军企业Coventor展示了其最新解决方案,成为产学研界关注的焦点。作为虚拟制造技术的实践标杆,Coventor此次重点呈现三大技术突破:


1. 工艺-设计协同仿真平台

  • 支持GDS版图一键生成3D模型,实现刻蚀、沉积等18道工艺的虚拟重现
  • 某客户案例显示,通过预测刻蚀角度偏差对弹簧刚度的影响,将设计迭代周期从6个月压缩至45天
  • 新增的AI工艺补偿模块,可自动优化光刻对准误差,使关键尺寸控制精度达±0.1μm

2. 多物理场耦合分析系统

  • 同步计算机电耦合(精度±3%)、热机械噪声(300K温控模拟)及流固耦合效应
  • 现场演示的汽车MEMS压力传感器仿真案例中,软件精准预测封装应力导致的零点漂移(误差<0.5%)
  • 2025版新增三轴振动耦合工具,专门针对集成化陀螺仪开发,可减少30%的模态干扰

3. 数字孪生量产解决方案

  • ROM降阶模型生成速度提升4倍,支持与Cadence、Simulink无缝对接
  • 某代工厂采用该方案后,压力传感器产线良率从68%提升至82%
  • 展示的虚拟计量系统可实时映射晶圆级测试数据,实现工艺参数动态调整。

当Coventor的虚拟仿真平台与孝感的制造雄心相遇,中国MEMS产业正构建起从设计到量产的数字化闭环。这种“数字孪生+实体制造”的双轮驱动模式,不仅将研发效率提升3倍,更让国产传感器在性能指标上比肩国际巨头——这或许正是智能感知时代自主创新的破局之道。


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