“揪出”气体泄漏！汉威科技打造半导体行业“安全卫士”

更新时间：2025年6月19日

近年来，半导体行业气体泄漏事件时有发生，其中不乏美国、日本、韩国等知名半导体制造企业，由此衍生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间毁坏、晶圆批量报废、人员伤亡等事故令人触目惊心。

电子气体是半导体制造过程中不可或缺的基础材料，品类多达上百种，成本约占芯片总成本的13%，被誉为“芯片血液”。

电子气体多为易燃易爆、有毒有害、腐蚀性、窒息性气体，一旦发生泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能引起爆炸、人员窒息或中毒事故。

气体安全是半导体行业高质量发展的重要一环。《特种气体系统工程技术标准》(GB50646-2020)中有强制性规定，在储存、输送、使用特种气体的区域或场所，如气瓶柜和阀门箱的排风管口处、废气处理装置排风出管口处、惰性气体车间等，应设置特种气体探测装置。

汉威科技集团推出的半导体工厂气体检测仪GD-HS10，是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体泄漏的高端自研产品，具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点，可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体，适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。

广泛覆盖—支持上百种气体检测
支持电化学、催化、光学等多种原理的气体传感器，可检测上百种气体，支持个性化定制。

使用方便—传感器模组即插即用
传感器采用模块化设计，即插即用，更换、维护更方便灵活。

性能领先—超远距离高精度检测
进气管长达30米，可进行超远距离检测；每种气体均采用对应温度补偿及融合算法，可实现ppm级高精度精准检测。

直观显示—点阵式大屏一目了然
点阵式LCD大屏显示界面美观易读，气体名称、浓度、报警情况等一目了然，适合国内用户习惯。

目前，汉威科技集团的半导体工厂气体检测仪GD-HS10已经成功应用于多家半导体制造工厂，并获得用户的一致认可。

半导体行业是关乎国家安全和科技竞争力的战略性先导产业，气体安全是行业高质量发展的重要一环。作为气体传感器与安全仪表领域的领军企业，汉威科技集团将以高端自研产品护航半导体行业发展。

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