天羿领航携全自主可控MEMS惯性传感器亮相第六届中国MEMS制造大会

湖南天羿领航 20251030

  • MEMS加速度计

10月22日,2025第六届中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会在苏州国际博览中心盛大开幕,本届展会汇聚了来自芯片设计、晶圆制造、封装测试、材料设备等领域的数百家知名企业,共同探讨产业趋势与技术演进。

湖南天羿领航科技有限公司是国内极少数同时拥有高性能MEMS惯性传感器本体研发设计制造、ASIC研发设计、封测、标定及系统集成全产业链IDM企业。公司长期聚焦"自主可控高性能MEMS惯性传感器“与“国产化替代”,其产品已广泛应用于国防、航天航空、航海、轨道交通、风电能源、石化工业等高端领域。

本次展会中,天羿领航重点展出三大核心产品系列,彰显全场景适配能力:

1、 MEMS加速度计- EAM1010/1011(系列)

EAM1010/1011(系列)是全国产MEMS加速度计。该系列产品为单轴,Z轴敏感,具有良好的零偏稳定性及恶劣环境适应性,提供±2g~±4000g的测量范围。该系列产品适用于引信解保、低频监测、姿态指示、惯性导航以及各类大、中型机械设备或关键零部件(如风机、水泵、电机、轴承、齿轮等)的振动监测。可替换Colibrys公司VS1000系列、MS9000系列或ADI公司ADXL100X系列。

2、全数字输出石英挠性加速度传感器系列

该产品是在传统石英挠性加速度传感器基础上增加CV转换、伺服闭环控制、模数转换电路等电路,将原有的加速度信号转换成方便接收处理的数字信号。结构可原位替换。具有全数字输出、全数字闭环、内置温补、高精度、低功耗、体积小、军工品质、全国产化等特点。

主要核心指标:零偏月稳定性≤20μg、零偏月重复性≤20μg、功耗大幅降低。

3、MEMS微半球谐振陀螺仪

MEMS微半球谐振陀螺仪是一款国产高精度高动态MEMS微半球谐振陀螺仪,其通过速率积分原理可实现在高动态场景下高精度角度值输出。

MEMS微半球谐振陀螺仪有两种工作模式,其一为速率积分工作模式的全角陀螺仪,可实现高动态场景下滚转角度的精确测量(直接输出滚转角度值),测量角误差≤1°(全温,总量程100万°),量程≥±18000°/s;另一种为角速率工作模式的高精度陀螺仪,零偏稳定性(全温):1~3°/h(1σ),标度因数非线性度:≤10ppm,性能媲美中低精度的光纤陀螺仪。

两款微半球陀螺具有全寿命周期免标定,对环境干扰不敏感的特点,均采用吹制熔融石英工艺,成本显著优于两光陀螺仪。

为期三天的展会中,天羿领航的三大核心产品系列获得了参会企业的关注与认可。不少参观者表示,这些产品在技术上的自主可控性和场景适配性,为相关领域的设备升级提供了新选择。展会结束后,天羿领航也将继续聚焦技术研发,推动产品在更多高端领域落地。

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湖南天羿领航

自主可控高性能MEMS惯性传感器及系统提供商

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