Mars系列高速XYZ纳米定位系统，提升工业与科研效率
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Mars系列高速XYZ纳米定位系统，提升工业与科研效率
在科研与工业领域，对超精密定位系统的部署需求日益增长，要求系统不仅具备高精度，还需具备快速交付能力。PI推出的Mars系列高速XYZ纳米定位系统，包括P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统与P-517・P-527多轴压电陶瓷扫描仪，集亚纳米级精度、高动态性能与快速交付优势于一体，为高精度应用提供高效解决方案。
六大核心优势
精密运动，易于集成
通过电容传感器技术实现亚纳米级分辨率，具备高达99.97%的线性度和长期稳定性。系统在Z轴上表现出±30 nm的直线度与平面度，即使在空间受限的设备中，也能保持精确的平面运动，并便于系统集成。
灵活光学通道
配备中央通光孔径，支持透射光应用与光束对准任务，广泛适用于光子学与显微领域。
卓越稳定性
采用零间隙柔性导向结构，实现无摩擦、无磨损的高刚性运动，系统在面对冲击、振动和温度变化时仍能保持稳定。
高动态性能
结合压电驱动与并行位置测量，实现高速运行下的纳米级精度，并通过实时串扰补偿提升整体性能，适用于科研与工业场景的产量提升、质量控制优化以及成本降低。
卓越耐久性
系统采用全绝缘的PICMA®压电陶瓷促动器，其使用寿命可达传统产品的十倍，并通过千亿次循环测试验证其可靠性。
快速交付
P-561、P-562和P-563系列产品已备有库存，确保用户可在最短时间内获得所需设备，满足紧急项目需求。
多领域应用场景
- 显微成像与生命科学：支持超分辨率、共聚焦和原子力显微成像、Z轴堆叠、活细胞研究及生物纳米技术应用；优秀的扫描平面度有助于生成高质量3D图像。
- 纳米技术：用于纳米结构的精密操控与组装，满足科研与工业的高精度需求。
- 光子学与光学：适用于光纤与光学对准、干涉测量及精密光学调整任务，中央孔径支持透射光路径。
- 半导体与计量：在晶圆检测、光刻、掩膜对准和缺陷检测中，系统提供所需的纳米级精度与高动态性能。
PI产品经理Aysenur Ünal指出：“PIMars XYZ压电平台在扫描、对准与计量领域展现了前所未有的精度表现。其融合亚纳米级分辨率、高刚性与动态响应特性，为新一代科研与制造提供了关键支撑。”
P-562.6CD PIMars 六轴压电平台系统
性能规格
- 六个运动轴：3个线性轴 + 3个旋转轴
- 线性行程最高达200微米，偏摆角可达1毫弧度
- 并联结构提供更快速的响应时间和更高的多轴运动精度
- 采用高线性度的电容传感器
- 零间隙柔性铰链导向系统
- 优异的扫描平面度
- 中央通孔为66 mm × 66 mm
- 配备长寿命的PICMA压电陶瓷促动器
- 兼容超高真空环境，支持至10⁻⁹ hPa
典型应用
扫描显微镜、超分辨率显微镜、生物技术、掩模/晶圆定位、样本定位、干涉测量与计量。
P-517・P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
性能规格
- 提供2轴和3轴配置（XY与XYθZ型）
- 最大行程200微米
- 实现亚纳米级分辨率
典型应用
广泛应用于计量、干涉测量、光子学、集成光学、平版印刷、纳米定位、扫描显微镜、样本对准和微加工。
快速响应，保障项目推进
针对科研项目的快速验证需求和工业生产的突发产能调整，PI优化了其供应链体系。PIMars系列中多款产品可实现快速交付，同时P-562.6CD六轴压电平台系统与P-517・P-527多轴压电陶瓷扫描仪的配套设备同步供应，有效避免项目因交期延误而受阻，为用户带来高效可靠的系统支持。
无论是微观科研中的高精度观测，还是高端制造领域的效率提升，PI均通过“极致精度 + 快速交付”的双重优势，借助PIMars系列、P-562.6CD六轴压电平台系统与P-517・P-527多轴压电陶瓷扫描仪，推动超精密运动控制技术进入新高度。
常见问题解答（FAQ）
- Q1：XYZ平台有哪些行程范围可选？
A：XYZ平台提供45、100、200和300 µm的行程选项，适用于扫描、晶圆定位与干涉测量等应用。 - Q2：PI纳米定位器的集成便捷性如何？
A：系统配备自动配置与快速更换组件功能，并整合PI压电控制器、软件及数据库解决方案，实现高效集成。紧凑的设计便于安装于空间受限设备。 - Q3：如何解决滞后与蠕变问题？
A：通过电容传感器与闭环控制系统实时监测位置，系统可对滞后与蠕变进行主动补偿，确保稳定的亚纳米级精度。 - Q4：为什么纳米定位平台对科研与工业至关重要？
A：纳米定位平台是推动半导体、光子学与生物纳米技术突破的关键设备，其亚纳米级精度、稳定性与响应速度对现代科研与制造至关重要。 - Q5：系统是否支持真空环境和多轴配置？
A：是的。系统采用无聚合物、无润滑剂设计，具备低放气特性，适合高真空（10⁻⁹ hPa）环境。PIMars系列平台支持最多六轴的多维定位方案，并提供真空和低温兼容版本。
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