珠海建成首条6英寸MEMS芯片生产线
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珠海建成首条6英寸MEMS芯片生产线
云际芯光（珠海）微电子有限公司于2024年1月15日在珠海金湾区三灶镇定家湾片区举行6英寸MEMS芯片生产线通线仪式。此举标志着珠海市首条MEMS芯片产线正式进入运营阶段。
据公开信息，该生产线总投资超过2.5亿元，从启动建设到全线贯通仅用时约一年，创造了行业内的“建设周期最短、通线速度最快”的新纪录，填补了珠海在MEMS芯片制造环节的空白。
作为一条集研发、中试与量产于一体的综合性平台，该6英寸MEMS产线配备了百级/千级洁净车间及关键制造设备，能够完成从光刻、薄膜沉积、干法刻蚀到键合封装等完整的微机电系统（MEMS）制造工艺流程。其产品线覆盖SMR滤波器、高基频石英晶振等核心器件，具备实现规模化量产的能力。
企业布局与技术积累
成立于2023年11月的云际芯光，专注于压电MEMS芯片的研发、设计与制造。公司构建了以SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高基频石英晶振、高精度压力传感器为核心的产品矩阵，旨在打破国外在高端频率器件和传感器领域的长期技术垄断。
截至目前，云际芯光已申报专利30余项，掌握完整的自主知识产权，并建立了覆盖设计、工艺开发、封装测试的全流程研发体系。
区位优势与产业协同效应
云际芯光负责人指出，企业选择落户金湾区，得益于珠海市及金湾区近年来在集成电路领域的系统性布局和政策扶持。金湾区作为粤港澳大湾区的重要节点，正持续推进半导体产业链的完善，但在MEMS制造环节仍存在空白。
此次产线的投产，不仅为云际芯光提供了关键产能保障，也与当地的设计、封装及应用企业形成良好的协同效应，有助于珠海打造更具特色和竞争力的半导体产业生态系统。
产品应用与市场布局
随着产线投入运行，云际芯光已与多家行业头部企业达成战略合作。其产品将广泛应用于5G/6G通信系统、卫星导航、汽车电子及工业传感等关键领域。
未来，云际芯光将持续加大在压电MEMS技术上的研发投入，推动更多高性能国产芯片进入市场，为我国半导体产业的自主可控与高端化发展提供有力支撑，同时为珠海建设粤港澳大湾区半导体产业重要基地注入新的动力。
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