华海清科离子注入设备交付国内领先存储企业
华海清科离子注入设备交付国内领先存储企业
华海清科股份有限公司近日宣布，其全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE已成功交付给国内一家领先的先进存储企业。这一成果标志着国产高端半导体设备在存储制造领域的进一步突破。
据企业披露，iPUMA-LE在关键性能方面已达到国际领先水平，表现出色的束流传输效率、注入均匀性以及精确的角度控制能力。这些特性使其能够满足当前先进制程和存储器件在离子注入环节的高精度工艺要求。
在离子注入装备研发方面，华海清科已构建起完整的产品矩阵。目前，大束流离子注入机系列实现了全型号覆盖，中束流系列产品也取得了显著进展。同时，企业正加快布局高能离子注入机的研发路径，目标是为逻辑芯片、存储芯片、功率半导体以及图像传感器等多个半导体细分领域提供全面的工艺支持。
随着工艺节点不断演进，客户对于设备的适配性和多样化需求持续提升。华海清科通过不断优化产品结构与技术路线，正逐步增强其在国产半导体制造设备领域的综合竞争力。
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