四川先导高端沉积装备智能制造项目冲刺年底竣工，总投资达106亿元

传感洞见 20260529

  • 半导体与集成电路
  • 物理气相沉积设备

四川先导高端沉积装备智能制造项目冲刺年底竣工，总投资达106亿元

据遂宁安居经开区管委会官方微信及遂宁新闻网报道，四川先导高端沉积装备智能制造项目一期建设近日取得重要进展。项目相关负责人透露，目前所有主体结构已完成封顶，一期工程整体施工进度已达到85%，计划于今年底前全面竣工，并将于2027年初逐步投入生产。

该项目总投资规模高达106亿元人民币，聚焦国产泛半导体领域高端制造设备的自主研发与产业化，计划分两期推进。其中，一期投资30亿元，主要用于建设包括六栋标准化厂房、一栋仓储中心以及一栋研发中心在内的核心基础设施。

项目一期建成投产后，预计年产能将覆盖腔体5000个及各类薄膜沉积设备75套，具体包括物理气相沉积（PVD）设备30套、化学气相沉积（CVD）设备40套，以及面向新能源领域的镀膜设备5套。按此产能估算，一期项目年产值有望突破53亿元。

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