华海清科湿法清洗传感痛点｜耐腐蚀光纤与高精度定位方案
嘉准传感器
华海清科湿法清洗传感痛点｜耐腐蚀光纤与高精度定位方案
导读： 华海清科湿法清洗、CMP工位存在研磨液酸碱气雾，普通传感器镜头腐蚀、金属引脚氧化，使用寿命短。晶圆传输摆臂、机械手取放对检测重复精度与响应速度要求极高。嘉准提供耐化学腐蚀同轴光纤、玻璃光纤探头及高速光纤放大器，适配湿法清洗与晶圆传输工位。
一、痛点三：少量酸碱抛光液雾气腐蚀，传感器探头易损坏
痛点描述：湿法清洗、CMP工位存在研磨液酸碱气雾，普通传感器镜头腐蚀、金属引脚氧化，使用寿命短，频繁更换备件，影响机台OEE。
嘉准匹配方案：采用嘉准FFR-D36Q耐化学腐蚀光纤、FFGR玻璃光纤探头，光纤端面耐弱酸弱碱气雾；无金属外露检测端，配合密封安装支架，隔绝化学雾气，降低探头损耗，减少备件更换频次。
二、痛点四：微米级定位检测，对重复精度、响应速度要求高
痛点描述：晶圆传输摆臂、机械手取放、边缘对位，需要高速、高重复精度检测；普通传感器响应慢，检测一致性差，造成晶圆对位偏移、碎片风险。
嘉准匹配方案：嘉准FF-401高速光纤放大器搭配聚焦光纤FFLMC-03-02，响应时间微秒级，重复定位精度高；FFRC同轴光纤可小光斑检测，适合薄晶圆边缘、窄间隙工位检测，适配机械手晶圆到位确认。
三、本篇小结
耐腐蚀与高精度是湿法清洗及晶圆传输工位传感器选型的关键。嘉准耐化学腐蚀光纤以无金属外露检测端、耐酸碱气雾延长探头寿命；高速光纤放大器以微秒级响应、小光斑检测满足晶圆传输高精度对位需求。
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嘉准传感器
F&C嘉准传感科技是国内最早一批从事传感器研发、生产和销售的企业。品牌创立于1997年，整合成立于2013年，总部位于湖南长沙。公司产品线突破5000个单品，业务遍及50余个国家，服务国内外客户上万家
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