压力传感器元件的压力测量方法

压阻传感器的高精度及其测量绝对压力、表压和压差的能力使其在广泛的用途中得到了各种应用。

对于工业设备和机械，压力传感器提供的信息可以用于最有效地操作液压或气动设备，进而与新的工业4.0标准联系在一起。

汽车对燃料效率和减少有害排放的要求越来越高，需要长期稳定和高度精确的传感器。除了介质电阻外，一些用途要求压力传感器具有抗冻性，但最重要的是传感器需要在整个寿命期间提供可靠的信号。

所有的用途都对压力模具的独特特性提出了越来越高的要求，需要在模具水平上具有特定的设计特点。已经开发了TDK压力传感器的产品系列，重点是提高灵敏度、高性能和较小的模具尺寸。此外，还特别注意介质电阻和易处理能力的具体特点。

压阻压力传感方法

压阻压力测量

绝对压力测量 – 前侧

在真空下将玻璃粘合到硅上，从而产生对照真空。被测量介质与压力传感器元件芯片前侧的有源电子元件接触。

表1 : 绝对压力测量 – 前侧

绝对压力测量 – 背侧

对于潮湿或腐蚀介质，使用附加的玻璃盖在前侧形成一个对照室。介质应用于背侧入口。

表2 : 绝对压力测量 – 背侧

表压和压差测量

表压或压差测量测量前侧和背侧之间的差异。较高的前侧压力引起的压差导致输出信号的正变化。较高的背侧压力导致输出信号的负变化。

表3 : 表压和压差测量

压力传感器模具的用途

压力传感器模具的用途

表4 : 压力传感器模具的用途

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