表面声波传感器通常使用两种不同的石英晶片作为基片

自20世纪60年代以来，新型表面声波器件已有40多年的历史。其中，表面声波滤波器应用最广泛，其次是表面声波传感器。由于表面声波的传播速度和衰减与其传播环境和介质的参数密切相关，使用表面声波传感器制造设备将具有高度的灵敏度。

表面声波传感器BD237通常使用两种不同的石英晶片作为基片。前者具有较高的电压系数，后者具有良好的温度稳定性。当与周围环境中的气体、液体或固体颗粒接触时，在表面声波传感器表面涂抹特殊物质和催化膜，通过吸附改变器件的质量，形成质量、化学或生物传感器。

为了提高灵敏度，需要改进传感器的结构，如选择合适的基片，改变基片的适当切割方向，适当选择传感器电极的材料，优化传感器的结构。对于化学或生物领域，需要优化传感器的材料和厚度。

表面声波传感器的应用：

1、瑞利波传感器

瑞利波传感器也已成为表面声波传感器。由于瑞利波传感器的位移轨道为椭圆形轨道，在液体固定环境中传播时，能量容易向液体泄漏。由于它不适用于液体环境的传感器检测，因此只能应用于气体环境。目前，瑞利波传感器比较成熟，部分已达到商业要求，主要用于药物、毒气和有害气体的检测。

2、切向水平板模具传感器

瑞利波传感器不能用于液体环境。通常选择水平位移的声波模式，如切向水平板模式传感器。切向水平板模式传感器是一种声波传感器。质量检测的灵敏度取决于板的厚度。板越薄，灵敏度越高。其优点是上下表面有一个切向水平位移，因此可以使用两侧进行传感。缺点是板材太薄，无法承受一定的机械强度，近年来研究较少。

表面声波传感器因其灵敏度高、分辨率高、稳定性高、体积小、输出信号处理方便等优点而得到广泛应用。表面声波传感器采用多种结构和材料，用于气体和液体环境中的物理、化学和生物参数传感和检测。

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