苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 (苏州MEMS中试量产服务平台)，是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力。

平台现有3000平方米高标准洁净厂房，总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。自2014年8月产品通线以来，导入客户一百余家，累计支撑客户完成400余颗项目开发，涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器、温度传感器等项目，实现单月产出5000片晶圆等一系列辉煌成绩。公司营收逐年增长，已成为国内MEMS代工的中坚力量。

平台优势

荣誉资质

ISO9001 质量管理体系；ISO14001 环境管理体系；ISO45001 职业健康和安全管理体系；IATF16949:2016车用质量管理体系认证

工艺设备

光刻设备，刻蚀设备，薄膜设备，扩散设备

案例

铌酸锂薄膜器件，PZT压电薄膜，硅麦克风，温度/流量/气体传感器，磁传感器，压力传感器，喷墨打印头，微振镜

分公司

苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司 是国内首个商业化运作的6英寸纯MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，现有设备170余台套，形成了年产30000圆片的批量生产能力。

平台目前出货量排名全国MEMS代工厂前三，已服务110多家企业、350多颗产品，填补国内多个自主器件空白，部分产品世界领先，成为对中国MEMS产业支撑最大的产线，并由此积累了丰富的经验和专利。为进一步提升支撑产业的能力，平台将配合国家三代半创新中心建设，进行六寸线三代半升级及新建8寸产线，成为国内领先的MEMS、三代半综合中试量产平台，支撑我国5G通讯、电子电力、智能传感、激光雷达、3D成像及VR/AR等战略性新兴产业健康发展。