简介

应用领域：高精度位移测量、新材料研究、长度基准、角度基准、工业级测量传感器、基准量传递等。

高精度光栅传感器的系列产品：有0-10mm量程，0-25mm量程，0-50mm，0-100mm量程。

主要技术指标

分辨率0.01μm(10nm)

全量程误差：

10mm量程<0.2μm；25mm量程<0.3μm；50mm量程<0.4μm；100mm量程<0.5μm。

特点

光栅装配工艺的统一化和数字化

光栅读数头信号归一化处理

光栅传感器整体的校准体系

技术参数