特性

• 超低功耗，小于5mw
• 响应时间小于5毫秒
• 范围：30-3
• 抗冲击性1000g
• 适用于气量低至0.1 cm-3的场合
• 对安装方向不敏感
• 低噪声
• 高分辨率
• 片上温度传感
• 长期稳定
• 可浸泡在溶剂中清洗，延长使用寿命
• 分析仪器
• 在保持主真空状态下的任何封闭系统中的泄漏检测
• 半导体设备
• 真空包装机
• 便携式真空计
• 小型机械系统（如泵送），以达到规定的真空度
• 低成本真空开关，用于验证真空度是否低于1托
• 范围为10-3至30托
• 抗1000克的冲击性能
• 在一次真空下保持的任何封闭系统中进行泄漏检测
• 小型机械系统(如泵送)以达到指定的真空水平

PVC1000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案，在提供超低功耗、长寿命、最小现场维护和低成本的同时，增强了小型化。，基于气体的热导率与低真空范围内的压力成正比的原理，Posifa传感器测量由于热量传递到周围气体而引起的加热元件电阻的微小变化。加热元件由位于隔热膜上的铂薄膜电阻器组成。膜悬挂在深度为25-00B5m的微加工腔上，底面与膜平行，保证了传热的精确测量。由于被测气体的体积很小（即腔内的体积），Posifa传感器可提供超低功耗和快速响应时间。PVC1000还提供了一个与位于传感器基板上的测量电阻器具有相同热电阻系数（TCR）的参考电阻器。它可以被传感器电路用于环境温度补偿

技术参数