绝对压力1000 mbar至5 x 10-9 mbar（=hPa），750 Torr至5 x 10-9 Torr，紧凑型VSM72 Pirani \/冷阴极组合传感器测量从大气到超高真空的绝对压力。智能型，微处理器驱动的Smartline传感器自动控制两个真空传感器在测量范围和开关点上的适当交互，以实现高精度。，优点，典型应用
特性
- 宽量程组合传感器
- 专利脉冲皮拉尼传感器具有扩展范围，允许冷阴极在较低压力下工作，并延长寿命
- 坚固的冷阴极传感器，对空气冲击不敏感
- 对数信号输出0-10V，RS485接口
- 可更换传感器头
- 优秀的点火行为
- 通过pirani和冷阴极传感器的单独气体类型校正系数校正压力读数
- 两个独立的干式继电器开关点
- 分析仪器
- 涂层设备和气相沉积
- 质谱法
- 过程工程
- 溅射的植物
- 真空炉
- 对数信号输出0-10V，rs485接口
- 溅射设备
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类别 | Vacuum Sensors |
| 真空度范围 | 750 to 5.00E-9 torr (0.3937 to 29.92 in Hg vac) |
| 产品类型 | Sensor |
| 工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) |
| 测量压力类型 | Vacuum |
