MEMS5900 系列用于精确测量气体介质的质量流量。该系列设计基于热扩散原理，介质压 力和温度变化时的无需进行大幅补偿。该产品集成了 MEMS(微机电系统)、信号处理、数字 仿真等技术。其原理和技术基础保证了 MEMS5900 系列在灵敏度、压力损失、量程比、响 应时间和微流量测量方面的优越性能。MEMS5900 系列通过本地显示示器显示瞬时流量和 累积流量。此外，它还支持远程数据访问的模拟和数字输出。 MEMS5900 系列流量计适用于测量和控制工业炉、医疗和制药气体设备、实验室微反应装 置、气体混合系统、气相色谱仪设备、半导体加工设备、光纤加工设备等的气体流量。