简介
MEMS 电容式技术
电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)，具有良好的长期稳定性和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测量静态(DC)和恒定以及动态(AC)加速度。 基于电容工作原理的加速度传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性能和 可实现的分辨率。
描述
低噪(LN)加速度传感器具有优异的噪声性能，范围为 7-400 μg/√Hz，这是最基本的最小频 率和振幅测量要求。集成电子电路有助于确保差分模拟电压输出(±4 V FSO)和灵活的电 源电压(6-40 VDC)。
中频(MF)加速度传感器提供了宽频响应，范围为 0-7 kHz(±3 dB)，以及一个非常稳健的 设计，耐冲击高达 6,000 g。集成电子电路有助于确保差分模拟电压输出(±2.7 V FSO)和灵 活的电源电压(5-40 VDC)。
该系列传感器具有轻量级铝制外壳或稳健不锈钢外壳，保护等级为 IP65，以及带可配置长度 和接头的集成电缆。
特点
应用
三轴加速度传感器能够在三个自由度中检测最小加速度振幅，如测量风力涡轮机的气动和质 量相关不平衡，或评估客船的乘坐舒适度。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 噪声密度 | 10-680 μg/√Hz |
| 外壳材料 | 不锈钢 |
| 最大冲击 | 6000 g |
| 频响范围 | 0-2500 Hz |
| 产品类型 | 传感元件 / 传感器 |
| 保护等级 | IP65 |
| 技术 | 电容;MEMS |
| 工作温度 | -40 至+125 °C |
| 灵敏度 | 13.5-1350 mV/g |
| 特征 | IP65 防护 |
| 振幅非线性 | <0.1(典型值) | <0.3(最大值) % FSO |
| 温度系数偏移 | ±0.2至±20 (最大值) mg/K |
| 电源电压 | 5-40 V |
| 重量 | 40 g |
| 测量轴 | 三轴 |
| 温度系数比例因子 | 120(典型值) | 20 至 220(最大值) ppm/K |
