简介
MEMS 电容式技术
电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)， 具有良好的长期稳定性和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测量 静态(DC)和恒定以及动态(AC)加速度。基于电容工作原理的加速 度传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性能和可 实现的分辨率。
描述
低噪(LN)加速度传感器具有优异的噪声性能，范围为 7-400 μg/√Hz， 这是最基本的最小频率和振幅测量要求。集成电子电路有助于确保差 分模拟电压输出(±4 V FSO)和灵活的电源电压(6-40 VDC)。
中频(MF)加速度传感器提供了宽频响应，范围为 0-7 kHz(±3 dB)， 以及一个非常稳健的设计，耐冲击高达 6,000 g。集成电子电路有助于 确保差分模拟电压输出(±2.7 V FSO)和灵活的电源电压(5-40 VDC)。
该系列传感器具有轻量级铝制外壳或稳健不锈钢外壳，保护等级为 IP67，以及带可配置长度和接头的集成电缆。
特点
应用
三轴加速度传感器可在三个自由度的宽频响应范围内检测最小加速 度，如用于试验台应用、车辆和道路监测以及航空中的共振和颤振试验。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类型 | 传感元件 / 传感器 |
| 最大冲击 | 6000 g |
| 外壳材料 | 不锈钢 |
| 保护等级 | IP67 |
| 噪声密度 | 10-680 μg/√Hz |
| 技术 | 电容;MEMS |
| 测量轴 | 三轴 |
| 振幅非线性 | <0.1(典型值)| <0.3(最大值) % FSO |
| 温度系数比例因子 | 120(典型值) | 20 至 220(最大值) ppm/K |
| 工作温度 | -40 至+100 °C |
| 灵敏度 | 13.5-1350 mV/g |
| 电源电压 | 5-40 V |
| 重量 | 42 g |
| 特征 | IP65 防护 |
| 温度系数偏移 | ±0.2至±20 (最大值) mg/K |
| 频响范围 | 0-2900 Hz |
