Conax提供OEM三点校准热电偶和特殊变化的完整选择，已根据个别工厂的需求定制。该三点式传感器用于应用材料\/Moore Technologies 76XX、77XX和78XX系列外延管反应器。该三点式传感器可用于校准3个红外(IR)传感器，这些红外传感器用于在晶圆加工过程中监测感应器的温度。由于传感器有3个测量接点，所有3个红外传感器可以同时校准。这节省了时间，增加了单结传感器的重复性，因为三重点不需要重新定位校准每个红外传感器。所有部件都带有双温度校准，通常为1100摄氏度和1200摄氏度或客户要求的温度。除非客户另有设计，否则三点式传感器使用c型热电偶线和铬镍铁合金护套材料。检查包括x光检查，以确定三点传感器的内部部件的状况。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 探头配置 | Straight Probe |
| 传感器终端类型 | Plug or Quick Connect |
| 护套材料 | Inconel |
| Probe Features | Available as an Assembly |
| 产品类别 | Temperature Probes |
| 所用基础元件 | Thermocouple |
