AIGX-D 真空计和仪器

品牌 Edwards 爱德华

分类 真空计和仪器

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一种紧凑型活性离子计,带有双钇涂层铱丝,测量范围从6.6 x 10-2到6.6 x 10-10毫巴(5 x 10-2到5 x 10-10托),线性输出为1伏。来自爱德华兹的新AIGX压力计融合了行业标准主动测量概念的所有优点,具有集成电子元件和可更换管。该仪表具有除气设施,包括保护和延长灯丝寿命的功能。AIGX得益于极低的带电粒子排放,这使得它成为不需要背景噪声的工艺的最佳选择。

技术参数

规格项参数值
输出信号Analog Voltage
产品类别Vacuum Gauges and Instruments
真空度范围0.0495 to 4.95E-10 torr (29.92 to 29.92 in Hg vac)
精度15 ±% FS
工作温度32 to 104 F (0 to 40 C)
测量介质Gas
显示类型Voltage Output
传感技术Ion
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