这里描述的鲁塔泵系统是真空泵系统,由鲁瓦茨系列的罗茨真空泵和前真空泵组成。它们设计用于粗糙和中等真空操作,即压力范围从大气压降至10-4 mbar(7.5• 10-5 Torr)。在进气侧,鲁塔泵系统由罗茨真空泵组成。进一步压缩至大气压力可通过油封或干式压缩真空泵或带有预入口冷却的罗茨真空泵进行。
技术参数
规格项 | 参数值 |
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真空度范围 | 750 to 1.50E-6 torr (0.3825 to 29.92 in Hg vac) |
测量介质 | Gas |
产品类别 | Vacuum Gauges and Instruments |