三通道显示和操作单元IONIVAC IM 540通过组合多达4种不同的测量原理,即Pirani、电容、Bayard-Alpert和提取器,可在10E-12mbar和大气压力之间完全覆盖和控制真空压力。
技术参数
规格项 | 参数值 |
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工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) |
输出信号 | RS232 / RS485 |
显示形式 | Video |
真空度范围 | 825 to 0.0 torr (-2.56 to 29.92 in Hg vac) |
传感技术 | Variable Capacitance; Pirani, Bayard-Alpert, Extractor |
测量介质 | Gas |
产品类别 | Pressure Instruments |
精度 | 10 ±% FS |
产品类型 | Controller |
压力类型 | Absolute; Vacuum |