GR-300系列可控制用于冷却由静电卡盘系统固定到位的晶圆背面的气体。，GR-300的稳定性和准确性使其成为控制硅片冷却系统中氦和氩流量的理想选择。，应用实例，在下面的例子中，GR-300系列正在控制用于冷却由静电卡盘系统固定到位的晶圆背面的气体。
特性
- 压力控制更加稳定和精确
- 质量流量传感器（可选）
- 可兼容各种配件
- RoHS符合性
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 外观形式 | Stand-Alone |
| 测量介质 | Liquid |
| 标准和合规性 | RoHS |
| 产品类别 | Pressure Controllers |
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