特性

• 整体式压力传感器
• 响应时间：<0.8秒
• Wide flow measurement range with full-scale flow rates from 0 - 3 sccm to 0 – 30,000 sccm
• 全量程压力范围广（最大压力1500 psig）
• 可选金属密封件
• 电抛光湿润表面（可选）
• 电动阀超驰控制
• 适用于上游或下游控制
• 模拟接口
• 消除了下垂，滞后和升压
• 高泄漏完整性
• 更好地控制压力和流量
• 顶部安装dip开关的动态调谐调整
• 薄膜工艺
• 化学研究
• 石油化工研究
• 门诊化验室
• 燃料电池
• 生命科学
• 实验室

布鲁克斯5866RT型金属或弹性体密封压力控制器和流量计控制压力，同时也测量流量。5866RT型接收远程压力传感器信号，并使用可调集成PID控制电子元件和控制阀，将保持所需的设定压力。5866RT具有密封件、电抛光湿表面和广泛的压力和流量测量范围，可在广泛的工艺范围内提供经验证的结果。，特点，优点，应用

技术参数