特性
- 整体式压力传感器
- 响应时间：<0.8秒
- Wide flow measurement range with full-scale flow rates from 0 - 3 sccm to 0 – 30,000 sccm
- 全量程压力范围广（最大压力1500 psig）
- 可选金属密封件
- 电抛光湿润表面（可选）
- 电动阀超驰控制
- 适用于上游或下游控制
- 模拟接口
- 消除了下垂，滞后和升压
- 高泄漏完整性
- 更好地控制压力和流量
- 顶部安装dip开关的动态调谐调整
- 薄膜工艺
- 化学研究
- 石油化工研究
- 门诊化验室
- 燃料电池
- 生命科学
- 实验室
布鲁克斯5866RT型金属或弹性体密封压力控制器和流量计控制压力，同时也测量流量。5866RT型接收远程压力传感器信号，并使用可调集成PID控制电子元件和控制阀，将保持所需的设定压力。5866RT具有密封件、电抛光湿表面和广泛的压力和流量测量范围，可在广泛的工艺范围内提供经验证的结果。，特点，优点，应用
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类别 | Pressure Controllers |
| 输入数量 | 1 inputs |
| 控制输出数量 | 1 outputs |
| 精度 | 1.0 ±% FS |
| 标准和合规性 | Other; EMC Directive 89/336/EEC EN 61326-1 |
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