特性

• 2和4通道
• 将探针与板和通道混合匹配
• 基于全球安装的数千套luxtron系统的可靠设计
• oem应用的定制探头
• 探头适用于所有电磁干扰环境：等离子、射频、微波、磁性、高压
• 金属外壳可用
• 混合匹配探头与电路板和通道

m924（4通道）和m922（2通道）半导体OEM模块是Luxtron最新产品，用于静电卡盘、腔室和其他设备的蚀刻机和晶圆制造设备温度监控。m920系列模块是灵活、可靠和经济高效的高性能解决方案。基于现场验证的可靠性和经验丰富的技术应用支持的新型高性能光纤温度传感解决方案，Lumassense Technologies拥有超过25年的将光纤温度解决方案集成到具有挑战性的应用中的经验。数千个LumaSense Luxtron OEM模块和板已安装，性能可靠。我们在加利福尼亚州圣克拉拉市经验丰富的应用工程团队支持全球范围内的定制集成和探头设计。，灵活的混合匹配探头设计，m920系列半导体OEM模块和LumaSense定制探头的设计允许完全混合和匹配组件。任何m920系列模块可与任何通道上的任何探头一起使用，无需校准。m920系列内置校准表，与定制的Lumassense探头匹配，用于高精度测量。，Lumassense Technologies在为最苛刻的光纤温度测量应用设计可靠的探头方面有着悠久的历史。我们的工程师利用他们的工艺和材料知识以及内部制造能力，为您的应用设计最好的探头。，易于集成到OEM设备中，m920系列由两块板组成。主板包含光纤温度传感通道、数字输出（RS-232 ASCII、RS-485 Modbus）和电源连接。模拟输出板提供0-10V或4-20mA输出，安装在主板上方。外壳可用。，m920系列主板调节来自荧光®探头的测量信号，并向OEM控制系统报告校准温度。定制的非金属探针传感器在恶劣环境中是安全的，并通过坚固的光纤连接到m920主板上。与Luxtron m822和m600系列模块以及Luxtron荧光探针向后兼容，m922 OEM系统与所有当前的半导体Luxtron®品牌荧光探针和光纤延长件一起工作。Luxtron品牌拥有超过25年的经验，在世界各地安装了数千个系统，是光纤温度测量最值得信赖的来源。此外，m920系列用户界面命令与m822和m600系列OEM模块基本相同。

技术参数