特性
- 适用于要求最高精度的应用场合
- 测量范围为1000µm
- 分辨率为0.01纳米
- 数字控制器的线性度误差为0.01%
- 带宽到10千赫
- 伺服控制器e-509.cxa，与e-500压电控制器系统兼容
- 自定义设计
- 对于要求最高精度的应用
- Measurement range to 1000 µm
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 测量范围 | 5.91E-4 to 0.0118 inch (0.0150 to 0.3000 mm) |
| 尺寸 | undefined |
| 高度 | 0.1575 to 0.1969 inch (4 to 5 mm) |
| 长度 | 0.5906 to 0.7874 inch (15 to 20 mm) |
| 产品类别 | Capacitive Linear Position Sensors |
| 形状 | Rectangular |
| 宽度 | 0.3150 to 0.7874 inch (8 to 20 mm) |
| 线性度 | 0.0100 ±% Full Scale |
| 工作温度 | -4 to 176 F (-20 to 80 C) |
