Conax提供单点校准热电偶，设计用于应用材料\/Moore Technologies 76XX、77XX和78XX系列外延管式反应器。，单点传感器允许校准3个红外（IR）传感器，用于在晶圆加工过程中监控受电器温度。单点需要重新定位在接收器中，以检查每个或3个红外传感器的校准。单点传感器使用K型热电偶导线和Haynes 214护套。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类别 | Thermocouple Temperature Probes |
| 护套材料 | Haynes 214 |
| 金属、贵金属和难熔金属类型 | K |
| 特征 | Available as an Assembly |
| 探头配置 | Straight Probe |
