Conax提供了完整的OEM三点校准热电偶和根据个别工厂需要定制的特殊变体。三相点设计用于Applied Materials\/Moore Technologies 76XX、77XX和78XX系列外延筒式反应器。，三相点传感器允许校准3个红外（IR）传感器，用于在晶圆加工过程中监控接收器温度。由于传感器有3个测量接头，所有3个红外传感器可一次校准。这节省了时间并增加了单结传感器的重复性，因为不必重新定位三相点来校准每个红外传感器。所有装置都带有双温度校准装置，通常在1100C和1200C或客户要求的温度下进行。除非客户另有设计，否则三相点传感器使用C型热电偶丝和铬镍铁合金护套材料。，Conax还提供每年推荐的检查和重新校准服务。检查包括X光检查，以确定三相点传感器内部的状况。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 特征 | Available as an Assembly |
| 探头配置 | Straight Probe |
| 产品类别 | Thermocouple Temperature Probes |
| 传感器终端 | Plug or Quick Connect |
| 护套材料 | Inconel |
| 金属、贵金属和难熔金属类型 | C |
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