MicroTrak低流量质量流量计精确测量和控制气体的微质量流量，此前科学家们认为该流量太低，无法重复读数。，MicroTrak低流量质量流量计专为4 sccm（smlm）以下的流量范围设计，最小可控质量流量为0.1 sccm（smlm）。Micro Trak是为那些需要精确可靠的清洁气体（包括腐蚀性气体和毒物）微质量流量控制的人而设计的专用仪器。在100型和101型上添加复合型可编程控制模块，并获得多点RS-485\/MODBUS RTU通信，大大简化基本流量控制装置，并允许多种仪器联网。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 产品类型 | Mass Flow Meter; Volumetric Flow Meter |
| 介质温度范围 | 32 to 122 F (0 to 50 C) |
| 精度 | 1 ±% |
| 面板接口 | Digital Front Panel; Computer Controllable (optional feature) |
| 接口选项 | Serial / Digital; Network/Fieldbus; RS-232, RS-485 (optional), Profibus DP, Modbus, Foundation Fieldbus |
| 测量技术 | Mass; Thermal |
| 气体体积流量 | 2.82E-6 to 1.41E-4 SCFM (4.80E-6 to 2.40E-4 m³/hr) |
| 显示 | Digital Display |
| 测量介质类型 | Gas |
| 特征 | Controller; Programmable |
| 工作压力 | 500 psi (352 m H2O) |
| 工作温度 | 32 to 122 F (0 to 50 C) |
| 电气输出 | Analog Current; Voltage |
| 产品类别 | Flow Transmitters |
| 产品标准 | RoHS; WEEE Compliant |
| 审核认证 | CE, CRN, ISO 9001 |
