信号波长为250nm的高精度反射激光标度，非常适用于低轮廓级、半导体后端加工设备和精密显微镜。
特性
- 信号波长：250nm
- High accuracy : ±1μm/420nm
- 高响应速度：700mm/s
- 最大分辨率：0.03125nm
- 可用:有/没有参考点
- 理论上完全消除了非接触设计返回误差。
- 规格:蓝板玻璃/低膨胀玻璃
- 厚度12mm的薄封头
- 支持各种分辨率和输出模式（取决于所连接的插值器。）
- 提供特殊的非磁性和真空兼容型号
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 线性编码器速度 | 700 mm/sec (1654 in/min) |
| 产品类别 | Magnetostrictive Position Sensors |
| 测量范围 | 1.18 to 16.54 inch (30 to 420 mm) |
