微流量传感器-智能气体泄漏传感器（IGLS）。测量体积流量-使用ATC的专利ALF设计。测量绝对下游压力和温度。不锈钢坚固结构。没有活动部件。无过流敏感性。测量单位由用户选择，通常为mm3\/min（µL\/min）。最低能力测量，1x10-6 sccs，2 psia。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 计算机接口选项 | Serial Interface |
| 显示类型 | Digital Display |
| 工作温度 | 50 to 113 F (10 to 45 C) |
| 产品类别 | Leak Testing Equipment |
| 泄漏检测方法 | Mass Extraction |
