微流量传感器-智能气体泄漏传感器（IGLS）；或。分子流量传感器-智能分子泄漏传感器（IMF）。自动真空测试电路，专为超密封泄漏规范设计。内置平衡和快速疏散电路。带触摸屏的正面图形显示器。内置等效直径（ED）。数字和模拟I/O接口。以太网，串行接口。洁净室用不锈钢外壳。无油各种尺寸，真空产生和控制包。带有真空发生器和控制包的可选测试车。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 泄漏检测方法 | Mass Extraction |
| 本地接口 | Digital Front Panel |
| 计算机接口选项 | Serial Interface |
| 显示类型 | Digital Display |
| 产品类别 | Leak Testing Equipment |
