微流量传感器-智能气体泄漏传感器（IGLS）。具有以下一个或两个的单或双测试通道：。泄漏测试通道压力测试：具有大容量快速填充功能的自动测试。收缩/堵塞流道：带智能气体流量传感器（IGF）和独特的压力控制。真空测试通道：真空度为2 psia的质量抽提测试
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 计算机接口选项 | Serial Interface |
| 显示类型 | Digital Display |
| 产品类别 | Leak Testing Equipment |
| 泄漏检测方法 | Mass Extraction |
| 本地接口 | Digital Front Panel |
