Lumassense UV 400和UVR 400系统是专门为GaN基MOCVD外延工艺开发的下一代温度传感器。2001年，Lumassense率先使用集成反射计（TR 100）的高温计，建立了使用950 nm和光纤进行主动发射率补偿的行业标准。我们在蓝宝石光管传感器和原位黑体校准源方面的进展提供了一个完整的温度测量解决方案。，UV 400和UVR 400现在允许直接测量晶圆表面温度，而不是传统的子部门/袋温。这种改进的测量方法使得对晶圆温度的控制更加精确，从而提高了成品率。，这些系统现在为LED生产工艺设定了新的标准，结果显示工艺温度和最终产品波长之间存在可靠的相关性。
特性
- 用紫外波长测量仪直接在GaN层上测量温度
- Provides a wide temperature range (650 … 1300 °C) to allow coverage of both main buffer growth and MQW growth
- 使用真光子计数仪器减少测量中的噪声
- 利用快速脉冲光源捕获实时反射率测量
- 包括2种接口类型：模拟输出和带upp协议的rs485
- 通过精确的晶圆温度测量提高产量
- 利用pl波长相关性获得可靠的晶片温度
- 防止近红外发射率补偿高温计中的残留物温度振荡
- 实现连续实时反射率测量
- 防止由于延迟采样而导致的数据倾斜（无快门打开和关闭）
- 提供了一个完整的解决方案，反应堆温度控制与PhotriX和同心光管选项
- 用紫外波长测量仪直接在gan层上测量温度
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 光谱范围 | 0.3830 to 0.4100 microns (0.3830 to 0.4100 micrometers) |
| 特性 | Records Min/Max Values |
| 附加输出选项 | Outputs an analog current signal |
| 显示/刻度特性 | Celsius/Centigrade |
| 接口选项 | Serial Interface |
| 测温范围 | 650 to 1300 C (1202 to 2372 F) |
| 应用 | Industrial |
| 目标发射率 | 0.1000 to 1 |
| 产品类别 | Infrared Thermometers |
