First Sensor拥有一个高度创新的技术平台，用于制造用于地球工程、状态监测或导航应用的高精度惯性传感器。MEMS传感器允许灵活定制，以满足您的个性化应用需求。，电容式测斜仪和加速度计基于单晶硅传感器元件，并利用最先进的微加工技术，以实现大信噪比和卓越的温度稳定性。因此，它们能够探测到极微小的倾斜或加速度变化。由于高宽高比微结构（harm），传感器具有超低的交叉轴灵敏度。此外，获得专利的高柔性AIM（气隙绝缘微结构）技术最大限度地减少了寄生电容。
技术参数
| 规格项 | 参数值 |
|---|---|
| 类型 | Capacitive |
| 外观形式 | Element / Chip |
| 测量轴 | Biaxial |
| 性能规格 | undefined |
| 技术 | Capacitance |
| 供电电压 | 2.7 to 5.2 volts |
| 倾角范围 | -90 to 90 degrees |
| 触发器 | Tilt Sensor |
| 工作温度 | -40 to 185 F (-40 to 85 C) |
| 产品类型 | Sensor / Transducer |
| 环境 | undefined |
| 频率范围 | 400 to 800 Hz |
| 最大冲击 | 2000 g |
| 产品类别 | Accelerometers |
